| 基于SPH方法的KDP晶体(001)晶面纳米压痕研究 |
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| 引用本文： | 郭晓光,刘子源,高航,郭东明.基于SPH方法的KDP晶体(001)晶面纳米压痕研究[J].半导体学报,2015,36(8):083007-7. |
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| 作者姓名： | 郭晓光 刘子源 高航 郭东明 |
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| 基金项目： | 国家重点基础研究发展计划；创新研究群体科学基金 |
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| 摘 要： | 为了避免有限元网格法在处理大变形问题时易发生网格畸变的缺陷，一种无网格仿真方法光滑粒子流体动力学（SPH）被引入。文章基于与应变率无关的弹塑性理论建立了KDP晶体材料本构模型。在KDP晶体(001)晶面上开展了基于SPH方法的纳米压痕仿真研究。仿真结果表明：加载过程中，最大Von Mises应力和最大塑性应变集中于压头尖部附近区域。Von Mises应力的分布形状类似于同心圆。卸载过程中晶体内部塑性变形分布未发现明显变化。卸载结束时最大等效应力分布在压痕及其棱边处。当最大加载载荷小于8mN时，发现了Von Mises应力影响深度与下压深度之间近似的正比例关系。此外，开展了KDP晶体(001)晶面纳米压痕的实验研究，验证了材料参数及修正后的应力-应变曲线的合理性，发现并分析了加工变质层对压头下压的阻碍作用。
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| 关 键 词： | KDP crystal (001) face nano-indentation SPH numerical simulation |
Nano-indentation study on the (001) face of KDP crystal based on SPH method |
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| Guo Xiaoguang,Liu Ziyuan,Gao Hang and Guo Dongming.Nano-indentation study on the (001) face of KDP crystal based on SPH method[J].Chinese Journal of Semiconductors,2015,36(8):083007-7. |
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| Authors: | Guo Xiaoguang Liu Ziyuan Gao Hang and Guo Dongming |
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| Institution: | Key Laboratory for Precision and Non-Traditional Machining Technology of Ministry of Education, Dalian University of Technology, Dalian 116024, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | KDP crystal (001) face nano-indentation SPH numerical simulation |
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