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| 低温等离子体与固体表面的作用 | |
| 引用本文： | 李学丹. 低温等离子体与固体表面的作用[J]. 物理, 1988, 17(8). |
| 作者姓名： | 李学丹 |
| 作者单位： | 浙江大学无线电系 |
| 摘 要： | 低气压下的等离子体属低温等离子体，其特征是电子温度比原子（分子）温度高得多。由于等离子体中各种粒子间以及它们与固体表面间发生的各种物理、化学过程，从而产生等离子体刻蚀、沉积、改质与催化． |
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