用计算物理方法处理离子注入问题之一——非晶靶中的射程及能量分布计算

本文采用计算物理方法来处理离子注入问题。计算机模拟方式采用MonteCarlo方法。本文将各种复杂组成和各种复杂结构的靶材料归结为三种基本概率函数,再用直接抽样法把给定的任意复杂形式的靶结构转换为简单、均匀、单元素的靶结构,从而可对任意形式的靶结构的离子注入问题进行计算。本文还给出了确定最大碰撞参量的经验公式。