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| 没食子酸丙酯改性的酚醛-邻重氮萘醌类感光性树脂的研究 | |
| 作者姓名： | 黄骏廉 顾振军 |
| 作者单位： | 1. 复旦大学材料科学研究所, 上海;2. 上海交通大学应用化学系, 上海 |
| 摘 要： | 酚醛-邻重氮萘醌类感光性树脂有较高的分辨力和优良的成膜性能,因此,在电子工业、印刷技术以及其它需进行微细加工的领域中得到了广泛的应用。但是,这类树脂的感光灵敏度不高,光照部份和未光照部份在显影液中的溶解度差别不大,即反差很小,因而给微细加工带来了很大的困难。 |
| 关 键 词： | 没食子酸丙酯 酚醛-邻重氮萘醌 感光性树脂 灵敏度 反差系数 |
| 收稿时间： | 1986-05-12 |
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