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| 超大规模集成电路的无损内窥显微分层体视检测 | |
| 引用本文： | 胡问国,李萍,徐晓华,李亚文,肖玲,周开邻,朱世秋,Э.И.РАУ.超大规模集成电路的无损内窥显微分层体视检测[J].电子显微学报,1998,17(5):682-682. |
| 作者姓名： | 胡问国 李萍 徐晓华 李亚文 肖玲 周开邻 朱世秋 Э.И.РАУ |
| 作者单位： | 1. 云南大学物理系 2. 昆明物理研究所 3. 俄罗斯 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金委员会,云南省应用基础研究基金委员会资助 |
| 摘 要： | 当今世界已进入信息时代。信息时代的主要基础是计算机、通讯和自动化设备及其软件。而这些设备又是以微电子器件为基础。面对信息爆炸时代，每日每时都在产生着的数量巨大的信息，需要对其进行处理、传输、存储、显示、打印和应用，这就需要研制和生产集成度更高的集成电... |
| 关 键 词： | 超大规模 集成电路 无损检测 显微分层体视 |
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