|
|||||
|
|
| 飞秒激光制备黑硅的光谱特性 | |
| 引用本文： | 孟娇,宋海英,刘嵩,董祥明,刘世炳. 飞秒激光制备黑硅的光谱特性[J]. 光散射学报, 2014, 26(2): 154-158 |
| 作者姓名： | 孟娇 宋海英 刘嵩 董祥明 刘世炳 |
| 作者单位： | 孟娇:北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124 宋海英:北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124 刘嵩:北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124 董祥明:北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124 刘世炳:北京工业大学激光工程研究院, 北京 100124 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(No.51275012) |
| 摘 要： | 本文采用飞秒激光在空气中对单晶硅进行扫描处理,在硅表面制备出平行排列并具有微尺度沟槽的黑硅材料。在扫描电子显微镜下,观察到了黑硅的纳米尺度的二级结构。通过黑硅的反射光谱发现,在250~1000nm光谱区域的反射率明显降低,且沟槽越深,反射率越低。同时,对沟槽深度与反射率的关系以及二级纳米结构的形貌进行了讨论。通过黑硅的拉曼光谱发现,飞秒激光处理后的硅片没有发生成分和结构上的变化,黑硅的成分依然是单晶硅。 |
| 关 键 词： | 飞秒激光 黑硅 反射光谱 拉曼光谱 |
| 收稿时间： | 2013-07-01 |
Spectroscopic Characteristic of Femtosecond Laser Fabricating Black Silicon |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | femtosecond laser black silicon reflection spectrum Raman spectrum |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |