| 二氧化硅薄膜比热容分子动力学模拟 |
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| 引用本文： | 唐祯安,丁海涛,黄正兴,许自强,李新.二氧化硅薄膜比热容分子动力学模拟[J].大连理工大学学报,2005,45(3):313-315. |
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| 作者姓名： | 唐祯安 丁海涛 黄正兴 许自强 李新 |
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| 作者单位： | 大连理工大学,电子与信息工程学院,微系统中心,辽宁,大连,116024;大连理工大学,电子与信息工程学院,微系统中心,辽宁,大连,116024;大连理工大学,电子与信息工程学院,微系统中心,辽宁,大连,116024;大连理工大学,电子与信息工程学院,微系统中心,辽宁,大连,116024;大连理工大学,电子与信息工程学院,微系统中心,辽宁,大连,116024 |
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| 摘 要： | 针对纳米量级薄膜比热容测定的困难,根据实验值建立了SiO2(100)薄膜物理模型.选取可靠的势能函数描述了分子间的相互作用,采用分子动力学模拟了它的比热容变化规律,在100～600K下给出了厚度在1～5nm的薄膜比热容对温度和厚度的依赖关系.计算结果表明,SiO2薄膜在300K下比热容明显低于相同条件下常规体材料的比热容,且随薄膜厚度的增加而增大;随温度升高,比热容变大,这同体材料是一致的.模拟结果揭示了SiO2薄膜比热容的微尺度效应,与理论分析基本吻合,可为半导体微器件的设计提供资料.
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| 关 键 词： | 薄膜 分子动力学 比热容 微尺度效应 |
| 文章编号： | 1000-8608(2005)03-0313-03 |
Molecular dynamics simulation of specific heat capacities of SiO2 thin films |
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| TANG Zhen-an,DING Hai-tao,HUANG Zheng-xing,XU Zi-qiang,LI Xin.Molecular dynamics simulation of specific heat capacities of SiO2 thin films[J].Journal of Dalian University of Technology,2005,45(3):313-315. |
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| Authors: | TANG Zhen-an DING Hai-tao HUANG Zheng-xing XU Zi-qiang LI Xin |
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| Keywords: | thin film molecular dynamics specific heat capacity microscale effect |
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