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高子束溅射原位沉积制备YBa2Cu3O7—δ超导薄膜

引用本文：	郝建华,李再光.高子束溅射原位沉积制备YBa2Cu3O7—δ超导薄膜[J].低温物理学报,1993,15(4):290-293.

作者姓名：	郝建华李再光

摘要：
关键词：	超导膜离子束溅射制备 YBCO
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