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| 超净技术 | |
| 引用本文： | 丰田裕康 ,小宫启义 ,黄子伦.超净技术[J].微电子学,1981(1). |
| 作者姓名： | 丰田裕康 小宫启义 黄子伦 |
| 摘 要： | 超大规模集成电路与大规模集成电路在结构及工艺方面没有多大差别,即使在制造技术上超大规模集成电路部分地采用了电子束曝光及干法工艺等新技术,但在制作方式上与大规模集成电路基本上没有什么不同。因此,在超大规模集成电路制作工艺过程中,所使用的净化间方面并不一定会出现特别新的问题,它与目前大规模集成电路制作工艺过程中所使用的净化间 |
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