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用于SOI脊形波导的模式匹配器的设计
引用本文:戴道锌 梅维泉 周勤存 何赛灵 何建军. 用于SOI脊形波导的模式匹配器的设计[J]. 光电子.激光, 2003, 14(6): 602-605
作者姓名:戴道锌 梅维泉 周勤存 何赛灵 何建军
作者单位:浙江大学现代光学仪器国家重点实验室,光及电磁波研究中心,浙江,杭州,310027
基金项目:浙江省科技计划重大资助项目(001101027),高等学校重点实验室访问学者基金资助项目(LMOI 9914)
摘    要:引入4种不同形状的模式匹配器,提高了SOI(Silicon—On—Insulator)脊形波导和单模光纤(SMF)的耦合效率。用三维束传播法(BPM)和重叠积分方法对这4种模式匹配器进行了结构设计和性能分析。结果表明,这4种模式匹配器对提高耦合效率的能力几乎相同;经过结构优化后,模式匹配器的耦合效率约提高了0.5dB;当模式匹配器长度大于800μm时,耦合效率几乎不随长度变化,因此模式匹配器长度取值应大于800μm。最后分析了封装对准中的对准精度要求。若要求附加损耗小于0.3dB,对准偏差须小于lμm。

关 键 词:模式匹配器 SOI脊形波导 耦合效率 三维束传播法 BPM 重叠积分
文章编号:1005-0086(2003)06-0602-04
修稿时间:2002-12-06

Design of Mode Transformers for Rib Waveguides Based on Silicon-on-insulator
Abstract:
Keywords:rib waveguide  coupling coefficient  mode transformer  beam propagation method(BPM)
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