| 2m光栅线纹自动测量仪 |
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| 引用本文： | 牛立新,任冬梅,等.2m光栅线纹自动测量仪[J].应用光学,1998,19(3):28-35. |
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| 作者姓名： | 牛立新 任冬梅 |
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| 作者单位： | 中国航空工业总公司第３０４研究所 |
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| 摘 要： | 描述一台能够对长在1m的线纹尺和长度达2m的光栅尺（和光栅线位移传感器）进行自动测量的激光干涉仪。干涉仪设计成双干涉光路系统，以消除光栅尺安装引入的阿贝误差。这台测量仪采用干涉条件计数原理，对光栅尺和线纹尺的线值精度进行检测，并能对光栅信号的质量进行评价。测量过程中，对空气折射率实现了实时修正。
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| 关 键 词： | 干涉仪 计量光栅 2m光栅线纹自动测量仪 线纹尺 光栅尺 |
AUTOMATIC LINE SCALE MEASURING APPARATUS FOR 2m GRATING |
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| Niu Lixin,Ren Dongmei,Wang Xiaowei,Cao Hang,Qi Aihui.AUTOMATIC LINE SCALE MEASURING APPARATUS FOR 2m GRATING[J].Journal of Applied Optics,1998,19(3):28-35. |
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| Authors: | Niu Lixin Ren Dongmei Wang Xiaowei Cao Hang Qi Aihui |
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| Abstract: | The Laser interferometer which can automatically measure the 2m grating and 1m line scale rulers is deseribed.The interferometer with two interfering light pathes is designed so as to eliminate the Abbe error when mounting the grating ruler. |
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| Keywords: | grating interferometer measurement |
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