| 多层介质光学膜系的计算机模拟误差分析 |
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| 引用本文： | 吴永刚 吴广明 等. 多层介质光学膜系的计算机模拟误差分析[J]. 应用光学, 1998, 19(4): 29-32,21 |
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| 作者姓名： | 吴永刚 吴广明 等 |
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| 作者单位： | 同济大学波耳固体物理研究所 |
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| 摘 要： | 用计算机数值计算方法模拟多层介质光学膜系的实际镀膜工艺过程，分析膜厚误差对λ0／4高反射膜系透射率和反射率的影响，讨论在一定技射率要求条件下不同层数膜系的允许厚度误差。发现当膜层偏离λ膜厚时，光学厚度控制工艺能通过自动调整其后膜层的厚度有效地降低厚误差对膜系透射率和反射率的影响。对于镀制高反射率膜而言，膜厚允许误差仍可有较大的范围。
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| 关 键 词： | 多层膜系 计算机模拟 误差分析 镀膜 薄膜光学 |
COMPUTER SIMULATED ERROR ANALYSIS OF MULTILAYER OPTICAL DIELECTRIC FILM SYSTEM |
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| Wu Yonggang Wu Guangming Ni Xingyuan Zhang Huiqing. COMPUTER SIMULATED ERROR ANALYSIS OF MULTILAYER OPTICAL DIELECTRIC FILM SYSTEM[J]. Journal of Applied Optics, 1998, 19(4): 29-32,21 |
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| Authors: | Wu Yonggang Wu Guangming Ni Xingyuan Zhang Huiqing |
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| Keywords: | multilayer film system computer simulation error analysis |
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