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| Si微/纳米带的制备与热电性能 | |
| 作者姓名： | 魏江涛 杨亮亮 魏磊 秦源浩 宋培帅 张明亮 杨富华 王晓东 |
| 摘 要： | 目前,低维材料是热电领域研究的热点,因为块体材料低维化后热电性能会得到显著的改善.块体材料低维化有很多方法,本文基于半导体微加工和聚焦离子束技术制备了尺寸可控的Si微/纳米带,并通过微悬空结构详细研究了不同尺寸Si微/纳米带的热电性能.实验发现:随着Si微/纳米带宽度的减小,材料的热导率发生了显著的降低,从体硅的148... |
| 关 键 词： | 热电性能 悬空结构 热导率 边界散射 |
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