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射频容性耦合Ar/O2等离子体的轴向诊断
作者姓名:操礼阳  马晓萍  邓丽丽  卢曼婷  辛煜
摘    要:实验通过朗缪尔探针辅助激光诱导解离技术对27.12 MHz驱动的不同含氧量条件下容性耦合Ar等离子体进行了诊断研究.通过质量流量计改变通入Ar与O2的流量以得到不同含氧量的等离子体.结果表明,由于氧气的分解吸附反应需要消耗电子,致使朗缪尔探针测得的电子能量概率函数(EEPF)的中能部分随着含氧量的上升而下降.射频输入功...

关 键 词:激光诱导解离技术  朗缪尔探针  电负性等离子体  电负度
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