|
|||||
|
|
| 射频容性耦合Ar/O2等离子体的轴向诊断 | |
| 作者姓名： | 操礼阳 马晓萍 邓丽丽 卢曼婷 辛煜 |
| 摘 要： | 实验通过朗缪尔探针辅助激光诱导解离技术对27.12 MHz驱动的不同含氧量条件下容性耦合Ar等离子体进行了诊断研究.通过质量流量计改变通入Ar与O2的流量以得到不同含氧量的等离子体.结果表明,由于氧气的分解吸附反应需要消耗电子,致使朗缪尔探针测得的电子能量概率函数(EEPF)的中能部分随着含氧量的上升而下降.射频输入功... |
| 关 键 词： | 激光诱导解离技术 朗缪尔探针 电负性等离子体 电负度 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |