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JEM-100SX电镜真空控制电路的故障分析与检修
引用本文:施同舟,可金星.JEM-100SX电镜真空控制电路的故障分析与检修[J].电子显微学报,1996(6).
作者姓名:施同舟  可金星
作者单位:第三军医大学中心实验室
摘    要:JEM-100SX电镜真空控制电路的故障分析与检修施同舟可金星(第三军医大学中心实验室,重庆630038)故障现象开机后,机械泵(RP)、空气压缩机等工作正常;但扩散泵(DP)不加热,预抽阀V2亦不打开,真空程序停滞在初开机状态。电路分析JEM-10...

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