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| 用紫外准分子激光器进行接触式光刻的初步研究 | |
| 作者姓名： | 楼祺洪 路敦武 祁建平 王润文 |
| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所(楼祺洪，路敦武，祁建平)，中国科学院上海光学精密机械研究所(王润文) |
| 基金项目： | 中国科学院上海分院青年科学基金资助 |
| 摘 要： | 本文叙述采用输出波长为308nm的XeCl准分子激光器进行微米级接触式光刻实验.获得1.5μm的分辨线条,而2.25μm线条已符合集成电路光刻要求. |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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