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DOI
责任编辑
分类号
杂志ISSN号
用紫外准分子激光器进行接触式光刻的初步研究
作者姓名:
楼祺洪
路敦武
祁建平
王润文
作者单位:
中国科学院上海光学精密机械研究所(楼祺洪,路敦武,祁建平),中国科学院上海光学精密机械研究所(王润文)
基金项目:
中国科学院上海分院青年科学基金资助
摘 要:
本文叙述采用输出波长为308nm的XeCl准分子激光器进行微米级接触式光刻实验.获得1.5μm的分辨线条,而2.25μm线条已符合集成电路光刻要求.
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