| 等厚干涉实验中缺陷检测的数值模拟 |
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| 引用本文： | 刘建龙,高扬.等厚干涉实验中缺陷检测的数值模拟[J].物理实验,2015(1). |
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| 作者姓名： | 刘建龙 高扬 |
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| 作者单位： | 1. 哈尔滨工业大学物理系,黑龙江哈尔滨,150001
2. 黑龙江大学电子工程学院,黑龙江哈尔滨,150080 |
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| 基金项目： | 黑龙江省高等教育教学改革项目资助(No ．JG2012010151)；“985工程”本科生教学建设项目资助 |
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| 摘 要： | 利用数值方法研究了等厚干涉实验中平面玻璃存在凸凹缺陷时的干涉条纹，给出了不同缺陷尺寸、高度或曲率情况下的条纹变化性质，讨论了利用干涉图像进行缺陷检测的方法。该研究给出等厚干涉实验中的典型问题的数值求解办法，结果形象直观，便于理解。
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| 关 键 词： | 等厚干涉 数值仿真 缺陷检测 |
Numerical study of defect detection in equal-thickness interference experiment |
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| LIU Jian-long,GAO Yang.Numerical study of defect detection in equal-thickness interference experiment[J].Physics Experimentation,2015(1). |
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| Authors: | LIU Jian-long GAO Yang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | equal thickness interference numerical simulation defect detection |
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