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光学工艺 微细加工技术与设备
摘    要:TN3052006010750激光微细熔覆柔性直写厚膜导带组织性能的研究=Re-search on structure property of thick-fil mconductive linesfabricated by laser micro-fine cladding and flexibly directwriting刊,中]/李慧玲(华中科技大学激光技术国家重点实验室.湖北,武汉(430074)),曾晓雁…∥中国激光.—2005,32(7).—1001-1005采用激光微细熔覆柔性直写技术,在玻璃基板上直接制备高质量高性能的微细导带。通过控制各工艺参数的变化所引起组织形貌的变化判定形成导带的性能的好坏和质量的优劣,优化了工艺参数,并采用该参数进行实际图形的制备…

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