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| 化学修饰的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备YBCO薄膜图形的研究 | |
| 引用本文： | 张黄莉.化学修饰的溶胶-凝胶(Sol-Gel)法制备YBCO薄膜图形的研究[J].低温与超导,2014(1). |
| 作者姓名： | 张黄莉 |
| 作者单位： | 西安邮电大学理学院; |
| 基金项目： | 陕西省教育厅项目(11JK0838)资助 |
| 摘 要： | 化学修饰的Sol-Gel法因无需光刻胶、腐蚀液被用于YBCO薄膜图形的制备。以丙烯酸(AA)、苯酰丙酮(BzAcH)作为化学修饰剂制备YBCO薄膜图形,研究了化学修饰剂、光源、前烘温度和时间、溶洗剂对薄膜图形的最小线宽和质量的影响。 |
| 关 键 词： | 化学修饰的Sol-Gel法 YBCO薄膜图形 化学修饰剂 |
Study on the patterned YBCO film by the chemically modified sol-gel method |
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| Abstract: | |
| Keywords: | |
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