| 利用硅上倾斜V形槽结构制作闪耀光栅 |
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| 引用本文： | 黄信凡,李联珠,高文琦,叶权书. 利用硅上倾斜V形槽结构制作闪耀光栅[J]. 光学学报, 1988, 0(1) |
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| 作者姓名： | 黄信凡 李联珠 高文琦 叶权书 |
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| 作者单位： | 南京大学物理系(黄信凡，李联珠，高文琦)，南京大学物理系(叶权书) |
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| 摘 要： | 以偏离〈100〉面25.24°的硅〈113〉晶面为基底,采用氧化、光刻等平面工艺,在其上制成光栅常数为36μm的二氧化硅光栅图形作掩模,用常规的硅各向异性腐蚀,在硅上形成连续倾斜的V形槽结构,制成槽距为36μm波长6328(?)时衍射效率达69%的闪耀光栅,进一步缩小槽距,可望获得实用的闪耀光栅.
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| 关 键 词： | 闪耀光栅 各向异性腐蚀 |
Fabrication of blazed grating by sloping V-groove structures on silicon |
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| HUANG XINFAN,LI LIANGZHU,GAO WENQI AND YE QUANSHU. Fabrication of blazed grating by sloping V-groove structures on silicon[J]. Acta Optica Sinica, 1988, 0(1) |
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| Authors: | HUANG XINFAN LI LIANGZHU GAO WENQI AND YE QUANSHU |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | blazed grating anisotropic etching. |
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