有机薄膜电致发光器件工艺检测的一种简便方法——覆膜加热观测法

提出了一种简便易行、并与有机薄膜电致发光器件制备工艺完全兼容的工艺检测方法－－覆膜加热观测法。这种方法是在器件的制备工艺过程中，同时在铟锡氧化物（ITO）电极的各层有机薄膜上覆盖一层不透气的薄膜（如金属Al膜等），接着进行快速加热，最后对器件表面进行形貌观测。采用这种方法，观察了器件表面气泡的形成过程，观察了加热温度、ITO表面处理以及有机物纯度对敢泡形成的影响。实验表明，覆膜加热观测法能有效地对工艺进行对比检测，从而达到改进工艺、提高器件质量的目的。