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TEA CO2激光制备碳化硅超细粉末
引用本文:金桂林,金晓英,潘孝仁,金乾元,徐华胜.TEA CO2激光制备碳化硅超细粉末[J].四川激光,1993,14(5):245-249.
作者姓名:金桂林  金晓英  潘孝仁  金乾元  徐华胜
作者单位:上海华东化工学院物理系 (金桂林,金晓英,潘孝仁,金乾元),上海华东化工学院物理系(徐华胜)
摘    要:用TEA CO_2激光诱导四甲基硅烷的气相反应,合成了亚微米碳化硅粉末,工作气压为30~300torr(4-40×10~2Pa),激光功率密度为10~3W/cm~2量级。所得SiC颗粒纯弃高,球状,直径约0.2μm,体积分市均匀。粉末整体呈链状的疏松集合,可在乙醇中被分散。用付立叶变换红外光谱法与x射线荧光光谱法鉴定了产物的组成,用扫描电子显微镜与x射线衍射光谱法分析粉末状态与晶型。讨论了反应机理以及激光功率密度和容器尺寸对于反应的影响。

关 键 词:激光  超细粉末  碳化硅  制备

TEA CO2 laser synthesis of SiC ultrafine powders
Jin Guilin Jin Xiaoying Pan Xiaoren Jin Qianyuan Xu Hnasheng.TEA CO2 laser synthesis of SiC ultrafine powders[J].Laser Journal,1993,14(5):245-249.
Authors:Jin Guilin Jin Xiaoying Pan Xiaoren Jin Qianyuan Xu Hnasheng
Institution:Huadong Inst. of Chemical Tech.
Abstract:
Keywords:laser  ultrafine powder  silicon carbide  tetramethyl silicaae  rapor phase reaction  
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