| 一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力 |
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| 引用本文： | 戴生伢,黄振进,柳祝平,高长有,王东海,庞旭.一步法消除蓝宝石晶体材料的内部应力[J].人工晶体学报,2019,48(10):1860-1862. |
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| 作者姓名： | 戴生伢 黄振进 柳祝平 高长有 王东海 庞旭 |
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| 作者单位： | 南京理工宇龙新材料科技股份有限公司,南京,211212;元亮科技有限公司,无锡,214000;江苏京晶光电科技有限公司,常州,213314;同济大学物理科学与工程学院,上海,200092 |
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| 摘 要： | 温度梯度法(TGT)生长蓝宝石晶体不可避免出现应力.为提高晶体的品质和加工质量需进行释放应力去色退火处理.使用现有“两步法”退火工艺,由于其退火温度低且速度慢,需要付出较高的时间成本和退火工艺的成本.现提出了“一步法”退火工艺,即在1750～ 1800℃空气气氛中直接进行高温退火.蓝宝石晶棒经“一步法”退火处理后,其内部澄清透明,且晶片加工终检的翘曲度(warp)和弯曲度(bow)的不良率较未退火前分别降低了100;和70;.蓝宝石晶棒的高温退火处理效果明显,可在其他晶体材料中尝试推广.
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| 关 键 词： | 蓝宝石晶棒 “一步法”退火 翘曲度 弯曲度 透过率 |
One-step Process for Eliminating Internal Stress in Sapphire Crystal Materials |
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| DAI Sheng-ya,HUANG Zhen-jin,LIU Zhu-ping,GAO Chang-you,WANG Dong-hai,PANG Xu.One-step Process for Eliminating Internal Stress in Sapphire Crystal Materials[J].Journal of Synthetic Crystals,2019,48(10):1860-1862. |
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| Authors: | DAI Sheng-ya HUANG Zhen-jin LIU Zhu-ping GAO Chang-you WANG Dong-hai PANG Xu |
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