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| 可溶于水的倒易律失效抗蚀剂——用于制造黑色矩阵型彩色显象管 | |
| 引用本文： | Moto-O Akagi,劲松.可溶于水的倒易律失效抗蚀剂——用于制造黑色矩阵型彩色显象管[J].发光学报,1975(3). |
| 作者姓名： | Moto-O Akagi 劲松 |
| 作者单位： | 日立中心实验室 |
| 摘 要： | 以照象法制造彩色显象管黑色矩阵屏时,为获得三基色彩色点或彩色条,需对光致抗蚀层进行三次曝光。在此过程中,光致抗蚀层被照区域会出现一定程度的重叠现象。这种重叠现象往往造成最终形成的黑色矩阵孔眼发生畸变。为了避免畸变,需使用一种倒易律失效抗蚀剂。这种抗蚀剂的感光性随光强减弱而迅速降低。 为了制备这种可溶于水的光致抗蚀剂,研究了含有聚合物、二叠氮化物的各种系统的光致交联特性。结果发现一种含聚丙烯酰 |
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