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GaN的补偿度与离子束沟道最小产额比的关系的研究
引用本文:姚冬敏,王立,熊传兵,彭学新,江风益.GaN的补偿度与离子束沟道最小产额比的关系的研究[J].发光学报,2000,21(2):109-114.
作者姓名:姚冬敏  王立  熊传兵  彭学新  江风益
作者单位:南昌大学,材料科学研究所,江西南昌,330047
基金项目:国家863新材料领域!(715-001—0012),国家自然科学基金!(69676019),江西省跨世纪人才基金等资助
摘    要:用RBS/沟道技术对MOCVD生长的未故意掺杂的GaN的结构性能进行了测试,同时用霍耳方法测试了样品的电学性能。结果表明:GaN薄膜的背散射沟道说与随机谱之比Xmin和其补偿度存在一定的依赖关系。补偿度小的样品,其Xmin小;随着样品补偿度的增大,Xmin也逐渐增大;但它们之间的知系变化是非线性的。对这些结果给予了一定的解释。

关 键 词:氮化缘  离子束沟道  补偿度
修稿时间:1999-07-20

Relationship between Compensation and Ion Channeling Minimum Yield in GaN
YAO Dong-min,WANG Li,XIONG Chuan-bing,PENG Xue-xin,JIANG Feng-yi.Relationship between Compensation and Ion Channeling Minimum Yield in GaN[J].Chinese Journal of Luminescence,2000,21(2):109-114.
Authors:YAO Dong-min  WANG Li  XIONG Chuan-bing  PENG Xue-xin  JIANG Feng-yi
Abstract:
Keywords:GaN  ion channeling  compensatio
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