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| IC和LSI制造设备的最近成果及今后任务 | |
| 引用本文： | 张之航.IC和LSI制造设备的最近成果及今后任务[J].电子工业专用设备,1981(1). |
| 作者姓名： | 张之航 |
| 作者单位： | 日本电气株式会社集成电路事业都 |
| 摘 要： | <正> 随着自身功能地不断增大,集成电路迅速地渗透到了各个工业领域中,其应用范围也正在向四处扩张。为了适应市场上对集成电路的需要,各集成电路制造厂家便努力发展各种稳定与高效率的集成电路制造技术。由于电路器件日趋高集成度化和高速度化,从而使之变得越来越复杂。为了在制造时能严密地控制必要的因素,所以各种集成电路制造设备对一些技 |
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