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类金刚石薄膜表面的氨基修饰
引用本文:黄建军,龚力,谢方艳,陈建,陈弟虎,何振辉. 类金刚石薄膜表面的氨基修饰[J]. 分析测试学报, 2009, 28(5). DOI: 10.3969/j.issn.1004-4957.2009.05.021
作者姓名:黄建军  龚力  谢方艳  陈建  陈弟虎  何振辉
作者单位:1. 中山大学,物理科学与工程技术学院,光电材料与技术国家重点实验室,广东,广州,510275
2. 中山大学,测试中心,广东,广州,510275
基金项目:国家自然科学基金,广东省自然科学基金 
摘    要:采用射频磁控溅射法在双面抛光Si(100)基片上制备了类金刚石薄膜,通过磁过滤等离子体化学气相沉积法,以N2、H2混合气体为反应溅射气体,对类金刚石薄膜样品表面进行氨基改性.傅立叶变换红外透射光谱(FT-IR)的结果表明,改性后的类金刚石薄膜上有C-NH2键存在;光电子能谱(XPS)的结果表明,改性后的薄膜表面含氮量约为8.92%,N1s的结合能出现在氨基对应的结合能范围内,表明类金刚石薄膜经过适当改性后可以在薄膜表面产生氨基.

关 键 词:类金刚石薄膜  氨基  傅立叶红外光谱  光电子能谱

Modification of Amino Groups on the Diamond-like Carbon Film
HUANG Jian-jun,GONG Li,XIE Fang-yan,CHEN Jian,CHEN Di-hu,HE Zhen-hui. Modification of Amino Groups on the Diamond-like Carbon Film[J]. Journal of Instrumental Analysis, 2009, 28(5). DOI: 10.3969/j.issn.1004-4957.2009.05.021
Authors:HUANG Jian-jun  GONG Li  XIE Fang-yan  CHEN Jian  CHEN Di-hu  HE Zhen-hui
Abstract:
Keywords:
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