| 氮直流辉光放电活性粒子（N^＋，N）的产生率 |
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| 引用本文： | 张连珠. 氮直流辉光放电活性粒子（N^＋，N）的产生率[J]. 核聚变与等离子体物理, 2003, 23(2): 113-118 |
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| 作者姓名： | 张连珠 |
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| 作者单位： | 张连珠（河北师范大学物理系,石家庄,050016） |
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| 基金项目： | 河北省教育厅资助项目(2002117);河北师范大学资助项目(L2001Y04) |
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| 摘 要： | 在氮直流辉光放电等离子体中采用快电子和离子(N2^ ，N^ )混合的蒙特卡罗模型，模拟研究了e N2→N^ /N N 2和N2^ N2→N^ N N2过程中粒子(N^ ，N)产生率的轴向分布随放电参数(工作气压、放电电压和温度)的变化规律。结果表明：两种离解过程中氮活性粒子(N^ ，N)的产生率都随气压和电压的增加而增大，随放电气体温度的升高而降低；但N2^ —H2离解碰撞主要发生在阴极附近。电压较高时，阴极处的离子N^ 主要由N2^ —N2离解过程产生；电压较低时，N2^ —N2离解过程可忽略。中性原子N主要由电子碰撞离解过程产生。
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| 关 键 词： | 氮直流辉光放电 活性粒子 产生率 蒙特卡罗模拟 轴向分布 放电参数 氮化物薄膜 等离子体 |
| 文章编号： | 0254-6086(2003)02-0113-06 |
| 修稿时间： | 2002-05-08 |
CREATION RATES OF ACTIVE SPECIES(N+,N) IN A NITROGEN DIRECTCURRENT GLOW DISCHARGE |
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