| 光磁混合存储动态测试系统中的聚焦伺服模块研究 |
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| 引用本文： | 陈璐,徐文东,朱青.光磁混合存储动态测试系统中的聚焦伺服模块研究[J].光学学报,2009,29(5). |
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| 作者姓名： | 陈璐 徐文东 朱青 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海光学精密机械研究所,上海,201800 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金，上海市基础性研究重大项目 |
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| 摘 要： | 介绍了光磁混合存储动态测试系统中聚焦伺服模块的设计和实现.伺服模块采用了双光束的方案,用独立的红光抽运(LD)作为伺服光源,构成独立的动态聚焦伺服单元,使伺服单元具有模块化、可移植的特点.它不仅适用于混合存储动态测试系统,还可用于卧式或立式、静态或动态的远场激光记录系统中.本文研究了聚焦模块中执行器压电陶瓷(PZT)的幅相频特性和非线性滞回效应,在控制算法方面,使用了PI算法闭环控制结合逆系统和逆非线性滞回模型进行校正,实现了高精度的动态聚焦伺服,在盘片转速为8 r/s时聚焦偏差在±130 nm内.利用该测试系统对有机材料作了动态记录测试,记录点大小和深度均匀一致.
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| 关 键 词： | 光数据存储 光磁混合存储 聚焦伺服模块 逆系统 非线性滞回 |
A Novel Focus Servo Module in Hybrid Magneto-Optical Recording Testing System |
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| Chen Lu,Xu Wendong,Zhu Qing.A Novel Focus Servo Module in Hybrid Magneto-Optical Recording Testing System[J].Acta Optica Sinica,2009,29(5). |
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| Authors: | Chen Lu Xu Wendong Zhu Qing |
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