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硅中微缺陷及其控制
引用本文：张纯蓓.硅中微缺陷及其控制[J].江南半导体通讯,1991,19(2):1-8.
作者姓名：张纯蓓
摘    要：
关 键 词：硅片  缺陷  控制  半导体器件  工艺
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