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喷射热解石墨栅极的砂束刻蚀轨迹的研究
引用本文:
姚士彬.喷射热解石墨栅极的砂束刻蚀轨迹的研究[J].真空电子技术,1993(1):25-29.
作者姓名:
姚士彬
摘 要:
关 键 词:
刻蚀轨迹
热解石墨栅
喷砂
制造
电真空器件
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