中间退火薄SiO2膜电击穿特性的影响期刊界 All Journals 搜尽天下杂志传播学术成果专业期刊搜索期刊信息化学术搜索

按检索

中间退火薄SiO2膜电击穿特性的影响

引用本文：	李观启,黄美浅.中间退火薄SiO2膜电击穿特性的影响[J].华南理工大学学报(自然科学版),1990,18(2):10-15.

作者姓名：	李观启黄美浅

摘要：
关键词：	SiO2 薄膜击穿退火氧化膜缺陷
本文献已被维普等数据库收录！