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高能Pb离子辐照注碳SiO2的红外谱研究
引用本文:赵志明,王志光,A.Benyagoub,M.Toulemonde,F.Levesque,宋银,金运范,孙友梅.高能Pb离子辐照注碳SiO2的红外谱研究[J].中国物理 C,2005,29(8):824-829.
作者姓名:赵志明  王志光  A.Benyagoub  M.Toulemonde  F.Levesque  宋银  金运范  孙友梅
作者单位:赵志明(中国科学院近代物理研究所,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100049);王志光(中国科学院近代物理研究所,兰州,730000);A.Benyagoub(CIRIL, BP5133, 14070 Caen Cedex 05, France);M.Toulemonde(CIRIL, BP5133, 14070 Caen Cedex 05, France);F.Levesque(CIRIL, BP5133, 14070 Caen Cedex 05, France);宋银(中国科学院近代物理研究所,兰州,730000);金运范(中国科学院近代物理研究所,兰州,730000);孙友梅(中国科学院近代物理研究所,兰州,730000)
基金项目:国家自然科学基金(10125522,10475102)和中国科学院“西部之光”基金资助
摘    要:室温下,先用120keV的C离子注入二氧化硅薄膜样品至剂量2.0×1017、5.0×1017或8.6×1017ions/cm2,再用950MeV的Pb离子分别辐照至剂量5.0×1011、1.0×1012或3.8×1012 ions/cm2,然后测量样品的傅里叶变换红外(FTIR)光谱. 通过分析测量得到的傅里叶变换红外谱,发现Pb离子辐照在注碳SiO2样品中可引起大量的Si-C和Si (C)-O-C等化学键的形成,大剂量Pb离子辐照可在大剂量注碳的SiO2中产生分子CO2. 大量的Si-C键的存在和分子CO2的形成,预示着高能Pb离子辐照在注碳SiO2样品中有可能形成了纳米Si团簇和/或SiC晶粒.

关 键 词:低能离子注入  高能重离子辐照  原子混合  FTIR谱  相变  成键
收稿时间:2004-11-24
修稿时间:2004-11-24

FTIR Study of C-Implanted SiO2 after High-Energy Pb-Ion Irradiation
ZHAO Zhi-Ming , WANG Zhi-Guang , A.Benyagoub M.Toulemonde F.Levesque SONG Yin JIN Yun-Fan SUN You-Mei.FTIR Study of C-Implanted SiO2 after High-Energy Pb-Ion Irradiation[J].High Energy Physics and Nuclear Physics,2005,29(8):824-829.
Authors:ZHAO Zhi-Ming  WANG Zhi-Guang  ABenyagoub MToulemonde FLevesque SONG Yin JIN Yun-Fan SUN You-Mei
Institution:ZHAO Zhi-Ming 1,3 WANG Zhi-Guang 1,1) A.Benyagoub2 M.Toulemonde2 F.Levesque2 SONG Yin1 JIN Yun-Fan1 SUN You-Mei1 1
Abstract:
Keywords:low energy ion implantation  high-energy heavy ion irradiation  atom-mixing  FTIR spectrum  phase transition  bonding formation
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