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| 集成电路芯片粘接质量的快速热筛选 | |
| 引用本文： | 贾松良,朱浩颖.集成电路芯片粘接质量的快速热筛选[J].半导体技术,1996(6):23-24. |
| 作者姓名： | 贾松良 朱浩颖 |
| 作者单位： | 清华大学微电子所 |
| 摘 要： | 介绍用集成电路瞬态热阻测试仪对集成电路进行快速热筛选的方法，该方法可快速剔除粘接质量不良、热性能不好及热阻过大的芯片。对提高产品可靠性和半导体器件芯片粘接质量，保证新品热性能等都是十分有用的。 |
| 关 键 词： | 集成电路 芯片 粘接质量 快速热筛选 |
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