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一种真空镀膜同轴电探针
作者姓名:
董石 胡栋
摘 要:
介绍一种磁控溅射真空镀膜同轴电探针的结构、制作工艺。用扫描电镜(SEM)对探针镀膜剖面进行了观察分析。通过二级轻气炮实验检验了此同轴电探针接通性能,它具有较好的时间响应性。
关 键 词:
电探针 真空镀膜 结构 工艺 响应时间
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