一种真空镀膜同轴电探针

介绍一种磁控溅射真空镀膜同轴电探针的结构、制作工艺。用扫描电镜（ＳＥＭ）对探针镀膜剖面进行了观察分析。通过二级轻气炮实验检验了此同轴电探针接通性能，它具有较好的时间响应性。