| 基于激光跟踪原理的铅垂面共面度测量新方法 |
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| 引用本文： | 肖作江,安志勇,曹维国,石利霞,李丽娟.基于激光跟踪原理的铅垂面共面度测量新方法[J].半导体光电,2008,29(4). |
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| 作者姓名： | 肖作江 安志勇 曹维国 石利霞 李丽娟 |
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| 作者单位： | 1. 长春理工大学生命科学学院,吉林,长春,130022
2. 长春理工大学光电工程学院,吉林,长春,130022 |
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| 摘 要： | 传统的接触式测量方法很难实现由多个非连续铅垂面形成大平面的平面度的检测.提出一种基于激光跟踪原理对空间点的坐标进行测量,采用"最小条件"法为基础的共面性评价方法,实现了对由多个非连续铅垂面形成大平面的平面度的高精度测量,实际测得共面度为0.043mm.
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| 关 键 词： | 铅垂面 共面度 激光跟踪 最小条件 |
A New Measurement Method of Vertical Surfaces Coplanarity Based on the Principle of Laser Tracking |
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| XIAO Zuo-jiang,AN Zhi-yong,CAO Wei-guo,SHI Li-xia,LI Li-juan.A New Measurement Method of Vertical Surfaces Coplanarity Based on the Principle of Laser Tracking[J].Semiconductor Optoelectronics,2008,29(4). |
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| Authors: | XIAO Zuo-jiang AN Zhi-yong CAO Wei-guo SHI Li-xia LI Li-juan |
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