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液体反射式激光平面干涉仪
引用本文:
张辑武,郭念德,惠爱贤,任筱玲.液体反射式激光平面干涉仪[J].光学技术,1979(2).
作者姓名:
张辑武
郭念德
惠爱贤
任筱玲
摘 要:
口径大于200毫米、光圈要求在0.1道以上的大型平面镜的面形检验,是十分困难的事情。为解决图1所示平面镜加工中检验和最后鉴定的问题,我们制作了一台大口径反射式液
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