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| 热处理对类金刚石碳薄膜力学和摩擦性能的影响 | |
| 引用本文： | 江晓红 金元生 KAZACHENKOVP POPOVAN ROGACHEVAV.热处理对类金刚石碳薄膜力学和摩擦性能的影响[J].摩擦学学报,2004,24(3):212-215. |
| 作者姓名： | 江晓红 金元生 KAZACHENKOVP POPOVAN ROGACHEVAV |
| 作者单位： | 1. 南京理工大学,化工学院,江苏,南京,210094 2. 清华大学,摩擦学国家重点实验室,北京,100084 3. 白俄罗斯国立交通大学,材料系,戈梅利,246653 |
| 基金项目： | 科技部国际科技合作重点项目(2002DFG00038)，教育部留学回国人员科研启动基金资助项目(2002). |
| 摘 要： | 利用直流磁分离及脉冲阴极双激发源等离子弧薄膜沉积装置制备了含Ti底层和无Ti底层的类金刚石碳薄膜(DLC);采用纳米硬度计、原子力显微镜和X射线光电子能谱仪分析了薄膜的力学性能和结构;采用УСК-1型球-盘滑动摩擦磨损试验机考察了薄膜的摩擦性能.结果表明,同无Ti底层的DLC薄膜相比,含Ti底层的DLC薄膜的硬度和弹性模量较低;含Ti底层的DLC薄膜经真空400℃退火后表面层中存在TiO2,内部存在TiC;而无Ti底层的DLC薄膜经真空500℃退火处理后硬度、弹性模量和表面形貌几乎保持不变;无Ti底层的DLC薄膜经空气中500℃退火后摩擦系数明显降低,这是由于DLC薄膜在空气中热处理时更易发生石墨化所致. |
| 关 键 词： | 类金刚石碳薄膜 Ti底层 热处理 力学性能 摩擦性能 |
| 文章编号： | 1004-0595(2004)03-0212-04 |
| 修稿时间： | 2003年6月23日 |
Influence of Heat-Treatment on Mechanical and Frictional Properties of DLC Films with and without Ti Underlayer |
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| JIANG Xiao-hong,JIN Yuan-sheng,KAZACHENKO V P,POPOV A N,ROGACHEV A V.Influence of Heat-Treatment on Mechanical and Frictional Properties of DLC Films with and without Ti Underlayer[J].Tribology,2004,24(3):212-215. | |
| Authors: | JIANG Xiao-hong JIN Yuan-sheng KAZACHENKO V P POPOV A N ROGACHEV A V |
| Institution: | JIANG Xiao-hong~,JIN Yuan-sheng~,KAZACHENKO V P~,POPOV A N~,ROGACHEV A V~ |
| Abstract: | |
| Keywords: | diamond-like carbon film Ti underlayer heat treatment mechanical behavior friction behavior |
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