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用MPCVD金刚石工艺电镀的金刚石工具的机械性能改善
引用本文:
马丁.用MPCVD金刚石工艺电镀的金刚石工具的机械性能改善[J].等离子体应用技术快报,2000(2):20-22.
作者姓名:
马丁
摘 要:
关 键 词:
MPCVD
工艺
电镀
金刚石工具
机械性能
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