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| 电感耦合等离子体在不同操作条件下的温度和电子密度的测定——Ⅰ.气体温度、激发温度、电离温度的测定 | |
| 作者姓名： | 刘志军 李传河 林铁铮 |
| 作者单位： | 中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所，中国科学院大连化学物理研究所 116012 大连，116012 大连，116012 大连 |
| 摘 要： | 引言等离子体的温度和粒子密度是等离子体的两大基本参数,其中温度是考察等离子体的特性及使操作条件最佳化的关键。等离子体的温度有气体动态温度,激发温度,电子温度和电离温度。气体动态温度有分子旋转谱线法和Doppler加宽法,激发温度有两谱线法和Boltzmann斜率法,电子温度有粒子密 |
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