| 射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性 |
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| 引用本文： | 郑代顺,谢天,白建民,魏福林,杨正.射频溅射FeTaN纳米晶软磁薄膜结构和磁性[J].物理学报,2002,51(4):908-912. |
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| 作者姓名： | 郑代顺 谢天 白建民 魏福林 杨正 |
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| 作者单位： | 兰州大学磁性材料研究所,兰州730000 |
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| 摘 要： | 用射频反应溅射制备了FeTaN纳米晶软磁薄膜.研究了薄膜结构和磁性与制备条件的依赖关系.研究发现,当Ta的含量较高时,在N2+Ar混合气氛中易形成沉积态薄膜的非晶结构.适当的热处理后,αFe纳米晶从中晶化生成.薄膜显示出优良的软磁特性
关键词：
纳米晶 软磁性 非晶态
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| 关 键 词： | 纳米晶 软磁性 非晶态 |
| 收稿时间： | 2001-07-11 |
| 修稿时间： | 2001年7月11日 |
Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films |
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| Zheng Dai-Shun,Xie Tian,Bai Jian-Min,Wei Fu-Lin and Yang Zheng.Microstrucrure and magnetic properties of RF-sputtered nanocrystalline FeTaN soft magnetic thin films[J].Acta Physica Sinica,2002,51(4):908-912. |
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| Authors: | Zheng Dai-Shun Xie Tian Bai Jian-Min Wei Fu-Lin and Yang Zheng |
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| Abstract: |
Keywords： |
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| Keywords: | soft magnetism amorphous nanocrystalline |
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