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| 半导体电阻率标样通过鉴定 | |
| 引用本文： | 罗兴华.半导体电阻率标样通过鉴定[J].分析测试学报,1985(2). |
| 作者姓名： | 罗兴华 |
| 摘 要： | 半导体电阻率标样系用于校准测量半导体表面薄层电阻、电阻率的四探针电阻率测试仪,能保证精确测定单晶硅片电性能,提高中、大规模集成电路的成品率和可靠性。目前国际上都采用美国国家标准局(NBS)的SRM标样。由上海市测试技术研究所与上海轻工材料厂合 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |
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