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| 光学工艺 微细加工技术与设备 | |
| 摘 要： | TN305．7 2005043148 灰度狭缝扫描制作多台阶光栅的工艺研究=Research of fabrication muti-levels grating based on gray-slot scanning [刊,中]／魏国军(苏州大学信息光学工程研究所,江苏,苏州(215006)),徐兵…／／光学技术,-2005,31(2),-190- 192 采用灰度狭缝进行矢量化的直写,使平台沿着垂直狭缝的方向运动,获得了具有台阶结构的光栅槽型,编写了与DXF文件一致的接口直写控制程序。该方法对成像视场要求低,可以制作大面积光栅。以色分离光栅(CSG)为 |
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