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正弦相位调制式全光纤微位移测试仪
引用本文:王惠文 ,李乃吉 ,顾生华 ,孔小键.正弦相位调制式全光纤微位移测试仪[J].光学技术,1992(6).
作者姓名:王惠文  李乃吉  顾生华  孔小键
摘    要:利用正弦相位调制干涉技术检测微小位移,精度可达纳米量级。采用全光纤光路,结构简单,并可实时非接触测量。


Sinusoidal phase-modulating optical fibre fine-displacement tester
Abstract:By using sinusoidal phase-modulating interferometric technique, the testing of fine displacement can achieve nanometer accuracy. If an all-fibre optical system is used, the structure of the tester will be simple and the real-time noncontact testing can be carried out.
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