|
|||||
|
|
| 一种电容式Al2O3湿度传感器 | |
| 引用本文： | 吴海霞,王占和,李印增.一种电容式Al2O3湿度传感器[J].微电子学,2003,33(5):456-457,461. |
| 作者姓名： | 吴海霞 王占和 李印增 |
| 作者单位： | 北京理工大学,电子工程系,北京,100081 |
| 摘 要： | 在单晶Si片上热生长一层SiO2薄膜，采用真空淀积的方法制备一层Al薄膜，然后利用铝阳极氧化的方法获得一层多孔Al2O3薄膜。设计制作了电容式Al2O3湿度传感器，测试结果表明，该器件具有较好的感湿特性和较宽的感湿范围。 |
| 关 键 词： | 三氧化二铝 多孔膜 湿度传感器 Al2O3 电容式 铝薄膜 |
| 文章编号： | 1004-3365(2003)05-0456-02 |
A Study on Al2O3 Capacitive Humidity Sensor |
|
| Abstract: | |
| Keywords: | Al_2O_3 Porous film Humidity sensor |
| 本文献已被 CNKI 维普 万方数据 等数据库收录！ | |