| 真空微电子压力传感器阵列数据采集研究 |
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| 引用本文： | 潘银松,温志渝,梁玉前,蒋子平.真空微电子压力传感器阵列数据采集研究[J].微纳电子技术,2003,40(7):435-437. |
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| 作者姓名： | 潘银松 温志渝 梁玉前 蒋子平 |
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| 作者单位： | 重庆大学光电技术系统实验室,重庆,400044 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)(2002AA431080)资助项目; 国家教育部(0216)资助项目 |
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| 摘 要： | 阐述了真空微电子压力传感器阵列的工作原理和工作波形。设计了一种供真空微电子压力传感器阵列器件使用的12位A／D数据采集系统。系统采用微机为主控单元，地址发生和时序控制部分采用可编程逻辑器件(CPLD)实现，提高了设计的灵活性，简化了电路板设计。利用该采集系统对压力传感器阵列进行了数据采集，最后给出了实验结果。
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| 关 键 词： | 真空微电子 压力传感器阵列 数据采集 MEMS 工作原理 可编程逻辑器件 电路板设计 |
| 文章编号： | 1671-4776(2003)07/08-0435-03 |
| 修稿时间： | 2003年5月15日 |
Study on data acquisition of vacuum micro electronic pressure sensor array |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | MEMS |
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