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| 用《TP—77型椭偏仪》测膜厚周期数的方法 | |
| 引用本文： | 吴永汉.用《TP—77型椭偏仪》测膜厚周期数的方法[J].物理实验,1982(3). |
| 作者姓名： | 吴永汉 |
| 作者单位： | 云南大学物理系 |
| 摘 要： | 从原理上讲,椭偏仪测透明介质膜厚具有周期性质,其周期厚度D按下式汁算:(1) 式中λ为入射氦氖激光在真空中的波长;n_1和n_2分别是空气和介质膜对真空的折射率;φ_1是入射角。在测试中,由起偏器和检偏器在消光状态下的方位角A和p,用相应的曲线和数表,可以查出n_2和一个周期厚度内的某一厚度d,膜的真实厚度为:l=m·D d (2) 式中m=0,1,2,……,称它为膜厚的周期数;D是(1)式所确定的周期厚度。(2) |
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