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通用二维半导体器件模拟软件的设计
引用本文:贡顶,王建国,张殿辉,张相华,韩峰,童长江,张茂钰. 通用二维半导体器件模拟软件的设计[J]. 计算物理, 2007, 24(2): 247-252
作者姓名:贡顶  王建国  张殿辉  张相华  韩峰  童长江  张茂钰
作者单位:西北核技术研究所五室,陕西,西安,710024;西北核技术研究所五室,陕西,西安,710024;西安交通大学电子与信息工程学院,陕西,西安,710049
基金项目:国家高技术计划863-803资助项目
摘    要:介绍自行研制的通用二维半导体器件模拟软件CSS,该软件的求解器同时实现了漂移扩散模型和流体动力学模型,可对多种材料、不同结构的器件进行稳态和瞬态计算.作为算例,应用该软件对NPN三极管和MESFET管进行了数值模拟,给出了Ⅳ曲线、电子密度分布和温度变化等.

关 键 词:TCAD  半导体数值模拟  流体力学模型  漂移扩散模型
文章编号:1001-246X(2007)02-0247-06
收稿时间:2005-12-01
修稿时间:2006-05-09

A General-purpose Two-dimensional Semiconductor Simulator
GONG Ding,WANG Jianguo,ZHANG Dianhui,ZHANG Xianghua,HAN Feng,TONG Changjiang,ZHANG Maoyu. A General-purpose Two-dimensional Semiconductor Simulator[J]. Chinese Journal of Computational Physics, 2007, 24(2): 247-252
Authors:GONG Ding  WANG Jianguo  ZHANG Dianhui  ZHANG Xianghua  HAN Feng  TONG Changjiang  ZHANG Maoyu
Abstract:We develop a general-purpose two-dimensional semiconductor simulator(GSS),by which the drift-diffusion model and hydrodynamic model are calculated.It calculates steady-state and transient responses of the devices with different materials structures and is applied to an NPN transistor and MESFET.IV curves,electron density distribution and temperature variation are obtained.
Keywords:TCAD  semiconductor device simulation  hydrodynamic model  drift-diffusion model
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