| 软X射线相位型聚焦波带片的研制 |
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| 引用本文： | 肖凯,刘颖,徐向东,付绍军.软X射线相位型聚焦波带片的研制[J].光学学报,2005,25(12):722-1723. |
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| 作者姓名： | 肖凯 刘颖 徐向东 付绍军 |
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| 作者单位： | 中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029;中国科学技术大学国家同步辐射实验室,合肥,230029 |
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| 摘 要： | 软X射线波带片是软X射线光学中聚焦、色散和成像的重要元件。以激光全息-离子束刻蚀技术制作金的振幅型软X射线聚焦波带片，以此为掩模，利用接触式同步辐射光刻和离子束刻蚀技术在聚酰亚胺衬底上，分别制作出了镍和锗的软X射线相位型聚焦波带片。
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| 关 键 词： | X射线光学 相位型波带片 镍 锗 同步辐射光刻 离子束刻蚀 |
| 文章编号： | 0253-2239（2005）12-1722-2 |
| 收稿时间： | 2005-07-08 |
| 修稿时间： | 2005-09-09 |
Fabrication of Soft X-Ray Phase Condenser Zone Plates |
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| Xiao Kai,Liu Ying,Xu Xiangdong,Fu Shaojun.Fabrication of Soft X-Ray Phase Condenser Zone Plates[J].Acta Optica Sinica,2005,25(12):722-1723. |
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| Authors: | Xiao Kai Liu Ying Xu Xiangdong Fu Shaojun |
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| Institution: | National Synchrotron Radiation Laboratory, University of Science and Technology of China, Hefei 230026 |
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| Abstract: | Soft X-ray zone plate is an important element which has the function of concentration, dispersion and imaging in soft X-ray optics. An Au condenser phase zone plate mask is fabricated using holography and ion beam etching process. Soft X-ray Ge and Ni condenser phase zone plates are fabricated by ion-beam etching technology on polyimide substrate and contact synchrotron radiation lithography with the mask. |
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| Keywords: | X-ray optics phase zone plate Ni Ge synchrotron radiation lithography ion-beam etching |
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